- дифракционное размытие
- diffraction spreading
Русско-английский физический словарь. 2013.
дифракционное размытие
Смотреть что такое "дифракционное размытие" в других словарях:
РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ — метод микроэлектронной технологии, заключающийся в формировании с субмикронным разрешением защитной маски заданного профиля на поверхности подложки; осуществляется при помощи рентг. излучения длиной волны l 0,4 5 нм; один из методов… … Физическая энциклопедия
